刻蚀机终点检测系统 产品介绍：

◆刻蚀机终点检测系统 问题解决方案-软件ideaEPD

主要特点：                                                      

1.实时显示全谱与至少6个峰的时序谱。                                                          

2.在时序谱上实时显示各种事件的纵线标记，包含启辉 信号、预延迟、终点信号等。                        

3.配置文件管理界面提供强大与灵活的终点判断算法， 增加了用户的可操作性，准确找到刻蚀终点。              

4.包含本地与远程模式，下位机在远程模式下由上位机 控制，并可在检测到终点后实时向上位机发送信号。

5.历史数据可以批量查看，并且可以用新的配置文件再 处理，以便用户寻找更合适终点算法。              

6.可以查看历史数据中不同波长对应的时序图，以便找到适合终点判断的谱线，方便用户探索新工艺。