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Q-One 单离子注入聚焦离子束系统

型号
Q-One
科睿设备有限公司

高级会员7年 

代理商

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科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的代理。科睿公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化,为广大中国用户提供仪器、设备,周到的技术、服务和*的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国,纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域,都需要与欧美发达国家*接轨的仪器设备平台来实现。科睿设备有限公司有幸成长在这个火热的年代,我们愿意化为一座桥梁,见证中国科技水平的提升,与中国科技共同飞速成长。
      科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)总部设在中国香港,在中国上海设立了分公司,在国内多个城市设立了办事处或维修站,旨在为客户提供*的产品和服务。2010年,科睿设备有限公司在上海设立备品仓库及维修中心,同时提供在大陆的各项技术服务和后期的维修保障服务,我们拥有专业的应用维修人员,并且都曾到国外厂家进行了专门的培训。上海配备了多种维修部件,能使我们的服务更加快捷和方便。我们承诺24小时电话响应,72小时内赶到现场维修。以利于更好、更快的为中国大陆服务!
      因为信任,所以理解.我们理解用户的困难和需求。我们已经为国内众多科研院所和大学根据用户的要求配制和提供了上百套系统,主要用户包括:中科院物理所,中科院半导体所,中科院大连化学物理研究所,国家纳米中心,上海纳米中心,北京大学,清华大学,中国科技大学,南京大学,复旦大学,上海交通大学,华东理工大学,浙江大学,中山大学,西安交通大学,四川大学,中国工程物理研究院,香港大学,香港城市大学,香港中文大学,香港科技大学等。



详细信息

主要特点:

  • 高分辨率质量过滤聚焦离子束

  • 确定性单离子检测,检测效率高达98%

  • 可选择液态金属或等离子离子源

  • 离子选择和广泛的植入物种类

  • 飞安级光束电流,可实现精确的单离子事件

  • 纳米级精密载物台,可处理高达 6 英寸的晶圆

  • 专有的注入和光刻软件

确定性植入

确定性单离子注入意味着以令人难以置信的精度将单个离子放入底物中,并知道已经发生了注入。Q-One使用超灵敏植入后检测系统技术来检测每次离子撞击时产生的信号。

种类繁多

Q-One提供广泛的植入元件。液态金属离子源(LMIS)技术在单个源中产生不同元素的多个离子,包括团簇和多电荷物种。

有几种合金成分可供选择,包括硅、铒、钕、金和铋。利用我们多年的专业知识,我们确保每个源头都以最佳方式流动,以实现最大的稳定性。单独的等离子体离子源也可用于氢、氮、氧和其他气态元素。


应用

量子技术

嵌入半导体矩阵中的单个杂质原子作为量子比特(量子比特)显示出巨大的前景。单离子注入能够产生大量相同的量子比特阵列,是可重复制造这些和其他量子器件的关键途径。

然而,公差是最小——每个原子必须非常精确地放置,有时距离其邻居只有20纳米。Q-One是针对此应用而设计的工具,其规格针对这些要求。

应用

掺杂纳米材料

Q-One不仅限于注入单个离子。将任何所需的离子剂量植入任何位置,甚至可以使用专有软件植入自定义区域或形状。

掺杂纳米材料,如纳米线或具有不同元素的量子点,可以改变其性质。Q-One通过允许您靶向单个纳米材料并使用各种掺杂剂探索不同的行为,开辟了一个充满可能性的世界。

应用

离子光刻

Q-One允许用户执行直接写入光刻,就像普通FIB一样,但种类范围更广,离子剂量控制更好。使用铋等重元素进行高效溅射,或使用氢等轻元素进行基于光刻胶的离子光刻,甚至包括单离子事件。

如果没有检测每个注入事件的方法,就不可能精确地注入单个离子。系统提供速度和可扩展性,不需要复杂的预制。因此,您可以不受阻碍地选择植入物种类和目标材料。


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