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SOPHI-200/260 日本ULVAC爱发科半导体中电流离子注入机
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日本ULVAC爱发科半导体中电流离子注入机
日本ULVAC爱发科半导体中电流离子注入机
中电流离子注入机SOPHI-200/260是一款配备技术的8、6和5英寸离子注入机。我们正在接受抽样。
配备技术的平行束离子注入机。
价格低,运行成本低,
小型、轻量、
超薄晶圆可直接转移。
半导体、电子元件
功率器件薄基板工艺、SiC工艺
研发
物品 | 索菲-200 | SOPHI-260 |
能量范围 | 3~200keV | 3~260keV |
光束平行度 | 0.2°以下 | |
均匀性 | 0.5%以下 |
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