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RTEC 白光干涉仪+共聚焦一体机
高级会员第5年
代理商岱美仪器技术服务(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面简称岱美)成立于1989年,是一间拥有多年经验的高科技设备分销商,主要为数据存储、半导体、光通讯、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持,并与一些重要的客户建立了长期合作的关系。自1989年创立至今,岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于中国香港,中国大陆(上海、东莞、北京),中国台湾,泰国,菲律宾,马来西亚,越南及新加坡等地区。
岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品:
晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器、定心仪等。
岱美重要合作伙伴包括有:
Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,
n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...
如有需要,请联系我们,了解我们如何开始与您之间的合作,实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。
高阶软件分析功能
全套的分析功能:
- 2D形貌、3D形貌、二进制图像、显微图像、等高线图像。
- 提取区域、提取剖面、抽取边界轮廓、将一个表面转换为一个剖面系列、重新取样、基准面校平。
- 表面纹理与形状参数如各种标准的面粗糙度、线粗糙度、距离&角度测量、台阶高度、面面角度差、方向&斜率。
- 图形&纹理单元的检测分析、颗粒&凸起&凹洞&空隙等特征统计数据、分形分析、孔/磨痕的体积、波谷深度、纹 理方向、体积参数、切片分析。
- 可创建分析模板,只需导入数据文件,自动生成测试报告。
- 满足ISO 25178、ISO 4287、ASME B46.1、EUR 15178、ISO 16610-61、ISO 16610-62、ISO 16610-71等。
① 各种减薄、研磨、抛光之后的表面粗糙度、表面三维形貌、加工纹理、瑕疵的检测
② 晶圆IC制造过程中各种微纳结构的三维形貌、台阶高度等三维尺寸、制造缺陷的检测、以及光罩上的异物和瑕疵检测
③ 薄膜的厚度、表面粗糙度及缺陷的测量
④ 表面机械损伤、表面冗余物的检测