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德国电子束曝光
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半导体材料分析,材料刻蚀
北京瑞科中仪科技有限公司专注半导体材料研究分析设备的研发和应用。专业的团队，专精的服务，提供理想的解决方案。
我们长期专注于半导体材料研究与分析设备的经销和代理，为高校、企业科研工作者提供专业的分析解决方案。以专业技能为导向，用科技来解决用户在科研中遇到的难题。专业的技术工程师和科研工作者进行现场演示和技术交流，打消顾虑，彼此协作，为我国的科研领域谱写新篇章。
北京瑞科中仪科技有限公司长期代理销售供应多种分子材料的研究分析设备，其中包括但不限于扫描电子显微镜、感应耦合等离子体化学气相沉积系统、离子束刻蚀机、等离子清洗机、物理气相沉积系统以及各品牌的光学显微镜以及实验室设备仪器。
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详细信息
德国电子束曝光利用电子束在涂有电子抗蚀剂的晶片上直接描画或投影复印图形的光刻技术。电子抗蚀剂是一种对电子敏感的高分子聚合物。经过电子束扫描过的电子抗蚀剂发生分子链重组，使曝光图形部分的抗蚀剂发生化学性质改变，经过显影和定影，获得高分辨率的抗蚀剂曝光图形。现代的电子束光刻设备已经能够制作小于10纳米的精细线条结构，也可制作光学掩模版。
德国电子束曝光主要功能：曝光速度快精度高，可采用大写场大束流进行曝光，适用于科研及小批量生产中使用；自动化程度高，除了放样取样外，整个曝光过程只需要编辑曝光的相关参数，其他过程均可自动完成。
