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電子束蒸鍍

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应用领域:环保,化工,电子
北京瑞科中仪科技有限公司

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半导体材料分析,材料刻蚀

北京瑞科中仪科技有限公司专注半导体材料研究分析设备的研发和应用。专业的团队,专精的服务,提供理想的解决方案。

我们长期专注于半导体材料研究与分析设备的经销和代理,为高校、企业科研工作者提供专业的分析解决方案。以专业技能为导向,用科技来解决用户在科研中遇到的难题。专业的技术工程师和科研工作者进行现场演示和技术交流,打消顾虑,彼此协作,为我国的科研领域谱写新篇章。

北京瑞科中仪科技有限公司长期代理销售供应多种分子材料的研究分析设备,其中包括但不限于扫描电子显微镜、感应耦合等离子体化学气相沉积系统、离子束刻蚀机、等离子清洗机、物理气相沉积系统以及各品牌的光学显微镜以及实验室设备仪器。

客户至上的服务理念,以人为本的企业文化,我们始终为用户提供专业的服务!

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详细信息

電子束蒸鍍系統為一種物理氣相沉積(PVD)技術,其中電子束是由鎢絲所產生的,並受到電場和磁場的驅動而朝向蒸發材料,並將其材料由固態轉化為氣態以沉積在基板表面上。且該過程需在高真空環境中,以通過自由路徑的方式在基板表面上形成薄膜。

電子束蒸鍍比熱蒸發更具有優勢。它能夠在非常高的溫度下熔化材料,如鎢、石墨...等等。結合石英震盪片的反饋信號,可輕鬆控制蒸發速率,以調節電子束電流並蒸發更多材料而不會破壞真空。因此,電子束蒸發用於薄膜製程領域,包括半導體、光學、太陽能電池板、玻璃和建築玻璃,因此它們具有所需的導電,反射,透射和電子等特性。

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