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智能型多功能椭偏仪
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冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
一、智能型多功能椭偏仪 产品概述：
Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快，准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数（n, k）以及薄膜结构特性（如粗糙度、光学梯度及各向异性等）。
二、智能型多功能椭偏仪 产品参数：
1. 光谱范围：450nm to 1000nm
2. 光谱分辨率：优于3nm
3. 光源：卤素灯和蓝光LED
4. 测试时间：小于1秒到10秒
5. 光斑尺寸:
(1) 75µm * 150µm, 100µm * 250µm,
(2) 100µm * 500µm, 150µm * 150µm,
(3) 250µm * 250µm, 250µm * 500µm,
(4) 500µm*500µm
6. 入射角：450 to 900 ，步径50
7. 样品尺寸：200mm以内
8. 样品准直：手动调整样品台高度（17mm以内）和倾角
9. 空气对射精度：Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20
10. 厚度准确性：0.04%
11. 厚度重复性：±0.02%
三、可选附件：
1. 全自动量角器，入射角度从450 到900可调，步径0.010
2. 可通过法兰耦合在反应腔实现在线监测
3. 冷热台，液体样品池和电化学反应池
4.十字星自准直系统
