参考价：¥10000000-¥20000000/件
RIE-10NR 日本SAMCO RIE等离子蚀刻设备
- 型号
- RIE-10NR
该企业相似产品
失效分析，芯片开封，表面观测，金相研磨，光学及视频显微镜，超声波检测，X射线检测，激光微纳加工等
似空科学仪器（上海）有限公司是一家仪器设备的经销商。我们致力于为中国制造业和研发机构提供高精度、符合人体工学设计的仪器设备。我们也梦想有朝一日，能够充分掌握市场需求，深刻理解仪器设备的技术原理，聚集一批有激情、有理想、有技术的人，为中国的制造业升级以及中国科研走向世界，提供自有知识产权的先进仪器设备！
仪器设备发展的是探测手段和传感器不对被测目标产生任何干扰，企业管理的是一切以市场为核心，不以自我的意愿抗拒市场的趋势，代替客户的喜好，于是我们取名“似空”，希望以忘我的精神服务客户。
详细信息
反应离子刻蚀机
SAMCO RIE-10NR
简介： RIE-10NR是一种新型的低成本、 高性能、全自动反应离子刻蚀系统， 能够满足非腐蚀性气体化学最KE刻 的工艺要求。 计算机化触摸屏为工艺配方编 程和存储提供了用户友好的界面。 该系统可以实现精确的侧壁轮 廓控制和材料之间的高蚀刻选择性。 凭借其圆滑、紧凑的设计， RIE-10NR只需要很小的洁净室空间。 应用: 硅、二氧化硅、氮化硅、多晶硅、 砷化镓、钼、铂、聚酰亚胺等材料的 腐蚀失效分析中的选择性层腐蚀。 |  |
主要功能和优点：
1、加工至ø220 mm（ø3“x 5，ø4”x 3，ø8”x 1）。
2、高选择性各向异性蚀刻满足严格的工艺要求全自动“一键式”操作。
3、自动压力控制，允许独立于气流干泵和系统布局的过程压力精确控制，便于维护。
4、于Windows的用户界面，丰富的配方和内置的数据记录功能，是一个可靠和持久的系统，全球安装了400多个系统。
主要参数规格： | |
基板 | 220 mm（ø3“x 5，ø4”x 3，ø8”x 1） |
负载 | 开放式 |
上下电极 | ø240 mm |
射频功率 | 300瓦@13.56兆赫，自动匹配（500瓦为选项） 可切换射频供电电极（阳极/阴极模式）为选项 |
气体管道 | 内部2条MFC控制的气体管道（最多6条） |
泵 | 干泵（500升/分钟） |
操作系统 | 触摸屏操作（可选择基于Windows的用户界面）、配方管理 |
端点检测 | 光学发射光谱（OES）作为一种选择 |
尺寸 | 500 mm（宽）x 920 mm（深）x 1501 mm（高） |
