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SE-i 光谱椭偏仪03090808
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实验室设备，材料科学，质谱仪，电化学，电池，催化
北京鸿瑞正达科技有限公司—实验室整体建设解决方案集成者：
鸿瑞正达主要服务于高等院校、科研院所和研发企业，专注于科研领域，助力科研成果转化。公司提供材料研究成套设备及整套解决方案，包括：高压科学材料、金属材料、电池研发、地质地矿材料、脆性材料、薄膜材料等研究领域的科研成套设备。
我们的服务理念是：让科研更高效、便捷。
详细信息
SE-i 光谱椭偏仪
产品简介： 光谱椭偏仪 SE-Vi 是一款集成式原位光谱椭偏仪，针对有机/无机镀膜工艺研究 的需要开发的原位薄膜在线监测中的定制化开发，快速实现光学薄膜原位表征分析。光谱椭 偏仪广泛应用于金属薄膜、有机薄膜、无机薄膜的物理/化学气相沉积， ALD 沉积等光学薄 膜工艺过程中实际原位在线监测并实时反馈测量物性数据。
产品型号 | SE-i 光谱椭偏仪 |
技术参数 | 1、自动化程度：固定变角 2、应用定位：原位定制型 3、基本功能： Psi/Delta、N/C/S 等光谱 4、分析光谱： 380-1000nm，支持按需定制化 5、单次测量时间： 0.5-5s 6、重复性测量精度： 0.01nm 7、入射角范围： 65°（支持定制） |
