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MILA迷你小型快速退火炉3寸
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昱臣半导体技术（香港）有限公司是专业的半导体及微电子领域仪器设备供应商，昱臣半导体技术（香港）有限公司所代理的仪器设备广泛用于高校、研究所、半导体企业。
昱臣半导体技术（香港）有限公司目前代理的主要产品包括：
- 霍尔效应测试仪(Hall Effect Measurement System)；
- 快速退火炉(RTP)；
- 回流焊炉，真空烧结炉(Reflow Solder System)；
- 探针台(Probe Station)，低温探针台(Cryogenic Probe Station)；
- 贴片机(Die Bonder)，划片机(Scriber)，球焊机/锲焊机(Wire Bonder)；
- 原子层沉积系统(ALD)，等离子增强原子层沉积设备(PEALD)；
- 磁控溅射镀膜机(Sputter)，电子束蒸发镀膜机(E-beam Evaporator)，热蒸发镀膜机(Thermal Evaporator)，脉冲激光沉积系统(PLD) ;
- 低压化学气相沉积系统(LPCVD)，等离子增强化学气相沉积系统(PECVD)，快速热化学气相沉积系统(RTCVD)；
- 反应离子刻蚀机(RIE)，ICP刻蚀机，等离子体刻蚀机；
- 致冷机/低温恒温器(Cryostat/Cryocooler)；
- 加热台、热板、烤胶台 (Hot Chuck / Hot Plate)；
- 扫描开尔文探针系统(Kelvin Probe)，光反射膜厚仪(Reflectometer)；
- 高温超导磁体(HTS Magnet)，快速场循环核磁共振弛豫测试仪(FFC Reflexometer)；
详细信息
RTP-1250小型真空快速退火炉(RTP/RTA)为日本进口的快速退火炉。
该仪器：尺寸小巧，使用风冷、无须水冷，电流要求不高(3安培)，性价比高，使用方便，非常适合科研院所的科研使用。
技术规格：
- 加热方式：红外卤素钨灯，600W；
- 卤素红外灯数量：4支；
- 升温速率：100℃/秒；
- 降温速率：50秒(1000℃ → 400℃)；
- 温度：1200℃；
- 温度精度：+/-0.3℃
- 样品尺寸：50 x 50mm，3寸；
- 退火环境：真空、惰性气体、空气、其他工艺气氛(如氧气、氢气等)；
- 真空泵及极限压力：机械泵，10-3Torr水平(选配)；
- 电压：220 V，单相；
- 仪器尺寸：400*300*450mm (W*D*H)；
- 质量：净重30Kg；
仪器特点：
- 可在真空/不同气氛/空气不同环境下，对样品进行快速热处理；
- 温控精度高；
- 适合高校或研究所科研使用；
- 无须额外的冷却系统；
- 紧凑的台式设计；
- 仪器操作方便，样片装取容易；
- 价格合理，高性价比；
应用领域：
- 快速热退火 (Rapid Thermal Annealing,RTA);
- 快速热氧化 (Rapid Thermal Oxidation,RTO);
- 快速热氮化 (Rapid Thermal Nitridation,RTN);
- 硅化 (Silicidation);
- 扩散 (Diffusion);
- 化合物半导体退火 (Compound Semiconductor Annealing);
- 离子注入后退火 (Implant Annealing);
- 电极合金化 (Contact Alloying);
- 晶化和致密化 (Crystallization and Densification);
- 合金熔点分析；
- 薄膜沉积；
等等…
