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科研用紧凑型纳米压印仪(CNI)
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经销商昱臣半导体技术(香港)有限公司是专业的半导体及微电子领域仪器设备供应商,昱臣半导体技术(香港)有限公司所代理的仪器设备广泛用于高校、研究所、半导体企业。
昱臣半导体技术(香港)有限公司目前代理的主要产品包括:
- 霍尔效应测试仪(Hall Effect Measurement System);
- 快速退火炉(RTP);
- 回流焊炉,真空烧结炉(Reflow Solder System);
- 探针台(Probe Station),低温探针台(Cryogenic Probe Station);
- 贴片机(Die Bonder),划片机(Scriber),球焊机/锲焊机(Wire Bonder);
- 原子层沉积系统(ALD),等离子增强原子层沉积设备(PEALD);
- 磁控溅射镀膜机(Sputter),电子束蒸发镀膜机(E-beam Evaporator),热蒸发镀膜机(Thermal Evaporator),脉冲激光沉积系统(PLD) ;
- 低压化学气相沉积系统(LPCVD),等离子增强化学气相沉积系统(PECVD),快速热化学气相沉积系统(RTCVD);
- 反应离子刻蚀机(RIE),ICP刻蚀机,等离子体刻蚀机;
- 致冷机/低温恒温器(Cryostat/Cryocooler);
- 加热台、热板、烤胶台 (Hot Chuck / Hot Plate);
- 扫描开尔文探针系统(Kelvin Probe),光反射膜厚仪(Reflectometer);
- 高温超导磁体(HTS Magnet),快速场循环核磁共振弛豫测试仪(FFC Reflexometer);
科研用CNI v4.0是一种非常灵活的纳米压印机。它可提供加热型纳米压印、UV紫外纳米压印以及真空纳米压印。模块化系统可根据特定需求轻松配置,体积小,容易存放,可处理210mm(8英寸)圆形的任何尺寸印章和基材。该系统是手动装卸印章和模板,但所有处理器都是全自动的,专用软件用户可以控制压印过程。
纳米压印机特色:
• 体积小巧,容易存放,桌面型;
• 轻微复制微米和纳米级结构;
• 热压印温度高达200℃;
• 可选的高温模块,适用于250℃;
• UV纳米压印,365nm曝光;
• 可选的UV模块,适用于405nm曝光;
• 真空纳米压印(腔室可抽真空至0.1mbar);
• 纳米压印压力高达11bar;
• 温度分布均匀、读数精准;
• 笔记本电脑全自动控制,工艺配方编辑简单,灵活控制,自动记录数据;
• 直径210mm(圆形)腔室;
• 腔室高度为20mm;
• 即插即用
• 使用简单直观
• 专为研发而设计
• 提供安装和操作教程视频