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美国Lakeshore 低温探针台8-12寸
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昱臣半导体技术（香港）有限公司目前代理的主要产品包括：
- 霍尔效应测试仪(Hall Effect Measurement System)；
- 快速退火炉(RTP)；
- 回流焊炉，真空烧结炉(Reflow Solder System)；
- 探针台(Probe Station)，低温探针台(Cryogenic Probe Station)；
- 贴片机(Die Bonder)，划片机(Scriber)，球焊机/锲焊机(Wire Bonder)；
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详细信息
CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求，是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层，以实现优异的低温性能，其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。
由于采用了分流设计，样品可在防辐射屏冷却时保持温度，与高真空选件，限度地减少了冷却过程中的样品冷凝，这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外，CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm（2英寸）的晶圆（最多102 mm[4英寸]可选）。该系统使用液氦或液氮运行。
主要特征：
√ 温度范围4.3 K~475 K
√ 可选低温1.9 K/1.6 K
√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102 mm）可定制
√ 样品可面内±5°旋转
√ 样品振动＜30 nm可选
√ 超高真空选件
√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境
√ 环形磁体选件0.19T
设备参数：
| 温度范围 | ||
| 最多安装6个探针臂 | 基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K | |
| 安装PS-LT低温选件 | 基础温度1.9 K，控制范围2 K ~ 475 K | |
| 安装PS-VLT-CPX极低温选件 | 基础温度1.6 K，控制范围1.65 K ~ 400 K | |
| 安装PS-LL-CPX选件（Load Lock） | 基础温度10 K，控制范围10 K ~ 400 K | |
| 温度稳定性 | 液氦 | 液氮 |
| 基础温度 (无加热控制) | ±15 mK | ±20 mK |
| <10 K | ±50 mK | — |
| 10 K ~ 100 K | ±20 mK | ±50 mK |
| 101 K ~ 250 K | ±15 mK | ±50 mK |
| 251 K ~ 350 K | ±15 mK | ±100 mK |
| 351 K ~ 675 K | ±50 mK | ±100 mK |
| 真空 | 以TPS-FRG分子泵组为标准 | PS-HV-CPX高真空选件 |
| 抽真空时间 | 30 min (<1 × 10-3 Torr) | 10 min (<1 × 10-3 Torr) |
| 室温 | <5 × 10-4 Torr | <5 × 10-6 Torr |
| 基础温度 | <1 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
| 温度 | <1 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
| 循环时间 | ||
| 总循环 | 3 h | |
| 抽真空 | 0.5 h | |
| 探针台冷却 | 1.25 h | |
| 探针台升温 | 2 h | |
| Load Lock样品更换时间 | 1小时（配有PS-LL-CPX选件） | |
| 样品 | ||
| 尺寸 | 51 mm（2英寸）标准 | |
| 25.4 mm（1英寸）安装PS-VLT-CPX高真空选件 | ||
| 25.4 mm（1英寸）安装PS-LL-CPX Load Lock选件 | ||
| 样品背光接口 | 不可选 | |
| 样品旋转 | ±5°面内旋转 | |
| 样品振动 | ＜300 nm标准，＜30 nm配有PS-PVIS减震选件 | |
| 探针配置 | ||
| 探针数 | 6 | |
| 探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 | |
| 冷却探针支架 | ＜20 K(样品在基础温度下) | |
| 探针支架 | 连接样品台或4K防辐射屏热沉 | |
| 探针臂支架 | 连接防辐射屏热沉 | |
| DC/RF探针 | 电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量 | |
| 微波探针 | 频率范围从DC到67GHz | |
| 光纤探针 | 可用于电光测量 | |
| 落针范围 | 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针 | |
