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Wafer级超快三维磁场探针台(Hprobe)
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昱臣半导体技术（香港）有限公司是专业的半导体及微电子领域仪器设备供应商，昱臣半导体技术（香港）有限公司所代理的仪器设备广泛用于高校、研究所、半导体企业。
昱臣半导体技术（香港）有限公司目前代理的主要产品包括：
- 霍尔效应测试仪(Hall Effect Measurement System)；
- 快速退火炉(RTP)；
- 回流焊炉，真空烧结炉(Reflow Solder System)；
- 探针台(Probe Station)，低温探针台(Cryogenic Probe Station)；
- 贴片机(Die Bonder)，划片机(Scriber)，球焊机/锲焊机(Wire Bonder)；
- 原子层沉积系统(ALD)，等离子增强原子层沉积设备(PEALD)；
- 磁控溅射镀膜机(Sputter)，电子束蒸发镀膜机(E-beam Evaporator)，热蒸发镀膜机(Thermal Evaporator)，脉冲激光沉积系统(PLD) ;
- 低压化学气相沉积系统(LPCVD)，等离子增强化学气相沉积系统(PECVD)，快速热化学气相沉积系统(RTCVD)；
- 反应离子刻蚀机(RIE)，ICP刻蚀机，等离子体刻蚀机；
- 致冷机/低温恒温器(Cryostat/Cryocooler)；
- 加热台、热板、烤胶台 (Hot Chuck / Hot Plate)；
- 扫描开尔文探针系统(Kelvin Probe)，光反射膜厚仪(Reflectometer)；
- 高温超导磁体(HTS Magnet)，快速场循环核磁共振弛豫测试仪(FFC Reflexometer)；
详细信息
IBEX-300晶圆超快三维磁场探针台
主要特点：
■ 可以用于100~300mm晶圆 | ■ 嵌入式传感器校准 |
主要应用方向：
■ 磁性隧道结
■ 磁随机存取存储器
■ 集成磁传感器(Hall, GMR, TMR)
■ 智能传感器
技术原理：
探针台采用特的三维磁场发生器，每个磁场空间轴立驱动。利用这3个自由度，用户可以在任意空间方向应用和控制场，也可以生成旋转场。三维磁场装置配备了所有相关配件，测试程序和磁铁校准工具包。 三维磁发生器置于探针台部，并在晶圆上产生局部磁场。为了适应器件测试设计，探头被放置在晶圆片和发生器之间的间隙中。磁场发生器和晶圆托之间的Z方向距离一般可在500μm至5mm之间可调，取决于所使用的探针卡和探针。 |
三维磁场装置 |
相关参数：
面内 (XY) | 垂直 (Z) | |
大单轴磁场 | 350 mT | 550 mT |
磁场均匀性@ +/1mm | ± 1% | ± 1% |
磁场分辨率 | 0.05 mT | 0.02 mT |
角度分辨率 | 0,02° | - |
场扫描采样率 | < 50 kHz | < 50 kHz |
R-H 回线测试时间 | < 100 ms | < 100 ms |
快速扫场能力：
仪器配置：
Hprobe探针台配备整套仪器驱动和测量大多数磁性器件，如MRAM (STT、SOT、电压控制)、传感器(AMR、GMR、TMR)和磁性MEMS。仪器可以包括源表和测量单元（SMU）、数字万用表（DMM）、任意波形发生器（AWG）、脉冲发生器（PG）、交换矩阵、数据采集板等。其他仪器可根据要求提供，并且可以很容易地集成到工具的硬件和软件中。
任意波形发生器（AWG） |
| 脉冲发生器（PG） |
源表和测量单元（SMU） | 数字万用表（DMM） |
探针卡：
Hprobe探针台使用非常灵活，用户可以使用标准的商用探针卡，也可以使用带有DC和RF探头的微操作器。
