- 面议
参考价：
起订量：
Propel 300mm GaN 金属化学气相沉积MOCVD
- 型号
- Propel 300mm GaN
该企业相似产品
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
Propel™ 300mm全自动单晶圆簇系统是经过行业验证的GaN MOCVD工具，能够在300mm衬底上生产5G RF、Photonic和先进的CMOS器件。
Propel 300mm 系统采用单晶圆反应器平台，能够在 300mm 晶圆上生产的高质量外延膜，具有出色的均匀性、可重复性和产量。Propel 300mm 系统可配置多达 3 个模块化集群室，并提供自动化的膜包到膜包处理，以实现最大的灵活性和生产率。
单晶圆反应器基于 Veeco TurboDisc® 设计，包括 IsoFlange™ 和 SymmHeat™ 技术，可在整个晶圆上提供层流和均匀的温度分布。客户可以轻松地将工艺从 Veeco 单晶圆反应器 Propel 和 Propel HVM 系统转移到 Propel 300mm GaN MOCVD 系统，以便快速开发到生产。
