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eVictor系列 8英寸通用物理气相沉积系统
- 型号
- eVictor系列
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
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详细信息
1. 产品概述
eVictor系列 8英寸通用物理气相沉积系统，加热基座设计，具备良好的温度均匀性，高温厚铝工艺连续作业无累温。
2. 设备用途/原理
eVictor系列 8英寸通用物理气相沉积系统，加热基座设计，具备良好的温度均匀性，高温厚铝工艺连续作业无累温，高温铝工艺具备高深宽比填充能力，背金工艺薄片传输及工艺，过程温度实时监控，优异的温度和应力控制能力，双腔传输平台，多可支持 10 个工艺模块，靶材利用率高，大产能，低运营成本。
3. 设备特点
晶圆尺寸 6、8 英寸，适用材料 钛、氮化钛、铝、 镍、镍钒、银。适用工艺 铝线、正面电工艺、背面金属化工艺等。适用域 科研、化合物半导体、集成电路。
