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KaLine 8V 部件镀膜设备

型号
KaLine 8V
深圳市矢量科学仪器有限公司

中级会员3年 

经销商

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。








详细信息

本装置是在真空状态中向产品外部涂层非导体的设备,在真空内产品做自空传,由能保持一定的膜厚度构成的.


本设备采用真空技术,用于在产品外部涂覆非导体材料。在真空环境下,产品会进行自旋转动,使涂层能够均匀覆盖整个表面,形成一定厚度的保护膜。这种真空涂层技术可以确保涂层的致密性和附着力,从而为产品提供耐磨、绝缘、防腐等功能。

具体来说,该设备由真空室、高速旋转平台和涂层喷淋系统等部件组成。产品放置在旋转平台上,在真空抽气后,平台以高速旋转,同时对产品表面进行均匀的涂层喷洒。涂层材料在真空环境下能够迅速附着并形成致密的膜层,厚度可以精确控制,以满足不同产品的性能要求。这种真空涂层技术广泛应用于电子、汽车、航空航天等领域,为产品提供保护性能。

与传统的大气压涂装相比,真空涂层技术具有明显的优势。首先,真空环境可以有效地排除空气中的灰尘和杂质,确保涂层表面的洁净度。其次,真空状态下涂层材料的流动性和浸润性大为提高,能够更好地覆盖产品表面的微小凹凸部位。此外,真空条件下涂层的固化速度更快,生产效率更高。总之,这种真空涂层技术为产品表面处理提供了一种高质量、高效率的解决方案。

设备构成Auto Inline 8 Chamber
到达真空3 x 10-6 Torr
排气构成D/P + Poly Cold + MBP + RP
产品回转滚轮驱动
Sputter TargetAL, SUS, Ni, Sn, Ti, Cr
Cycle Time1~3 min




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