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For Half Mirror Coating 部件镀膜设备
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
在高真空环境中,我们发明了一种创新的In-line Sputter生产技术,实现了高大量生产率和出色的品质。这款1Carrier/20Sheet(A4 Size)产品采用了Both Side Sputtering工艺,不仅提高了生产效率,还确保了优异的光学性能,透过率可达25%以上。
通过精密仪器的安装和优质设备的使用,我们确保了制造过程的稳定性和一致性。同时,我们采用了自主研发的优质材料,相比市面上的同类产品,大幅降低了成本,从而提升了产品的性价比。
我们专注于工艺的优化和完善,致力于提高In-Line Sputter工艺的产品品质。通过对电弧放电等关键参数的精准控制,我们能够确保产品的可靠性和一致性,同时大幅缩短了维修时间,降低了后期维护成本。
这一系列的技术创新和工艺优化,使我们的In-line Sputter产品在高真空环境下实现了高大量生产率和品质表现,为客户提供了优质高效的解决方案。我们将继续投入研发,不断推动技术进步,为客户创造更大价值。
Chamber & Door | 5 chambers, STS(SUS)304 |
Pumping System | PRP + MBP + DRY + TMP / DP |
Cooling Devices | * Cryo Cooled Polycold Unit * Cooling Traps for Pumping Unit * Cooling Chiller for Cathode |
Power Supply | DC Power Generator |
Control Unit | PLC, Touch Screen |
Cycle Time | 270sec / carrier (根据产品可能有所不同) |