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KaRon 设备 部件镀膜设备
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
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详细信息
本装置是一款在真空环境下对产品外部进行非导电体涂层的专业Coating设备。其核心特点包括：
真空环境操作：
设备在真空状态下运行，确保涂层过程不受外界杂质干扰，保证涂层质量。
自传与公转结合：
产品在真空室内不仅进行自转，还同时进行公转运动，这种复合运动方式有助于实现均匀且致密的涂层效果。
精确控制膜厚度：
设备具备精确的控制机制，能够确保涂层保持一定的厚度，满足不同的生产需求。
综上所述，本装置作为一款先进的真空Coating设备，通过其自转与公转结合的运动方式，以及精确的膜厚度控制能力，为产品外部非导电体涂层提供了高效、高质量的解决方案
| 设备构成 | Thermal Evaporation |
| 到达真空 | 3 x 10-6 Torr |
| 排气构成 | D/P + MBP + Rotary Pump |
| 产品回转 | 真空内自转,公转驱动 |
| Sputter Target | SUS,Ni,Al,Sn,Ti |
| Cycle Time | 8~12 min |
