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eVictor Al PVD 铝物理气相沉积系统
- 型号
- eVictor Al PVD
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
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公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1. 产品概述
eVictor Al PVD 铝物理气相沉积系统，先进的磁控溅射系统，有效提高薄膜均匀性及靶材利用率。
2. 设备用途/原理
eVictor Al PVD 铝物理气相沉积系统，先进的磁控溅射系统，有效提高薄膜均匀性及靶材利用率，加热基座和高温静电卡盘设计，具备良好的温度均匀性，全新双腔传输平台，可配置性强，多可支持 10 个工艺模块，优质的 Whisker 解决方案，降低产品缺陷，大产能，低运营成本。
3. 设备特点
晶圆尺寸 8、12 英寸，适用材料 高温铝、氮化钽、氮化钛。适用工艺 热铝、铝焊盘、铝线，适用域 新兴应用。
