1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年（公司成立年）

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额

WE3102系列 12英寸槽式清洗设备

1、可配备 i-Clean 多药液工艺槽，支持 DN unit, DIO3 等附属功能

i-Clean multi-chemical process tank is available and DN unit, DIO3 are optional

2、软件量身定制，具备快速更新能力

Customized softwafer with highly efficient update abbility

3、较高的温度控制稳定性

High temperature control stability

4、超高的补水精度

Ultra-high replenishment accuracy

5、精准的蚀刻速率控制

Precise etch rate control

6、优秀的干燥效果

Excellent drying performance

技术参数

1、晶圆尺寸 12 英寸

2、适用材料 光阻、单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属膜、金属氧化物

3、适用工艺 炉前清洗、刻蚀 / 抛光后清洗、光阻去除、金属氧化物去除、氮化物去除、控挡片回收

4、适用领域 新兴应用、集成电路