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UV-300HC 紫外线臭氧清洗设备
- 型号
- UV-300HC
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年（公司成立年）
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额
盒式装载紫外线臭氧清洗设备 UV-300HC
双盒式生产系统
概要
主要特点和优点
大加工尺寸为ø240 mm (ø3" x 5, ø4" x 3, ø8" x 1)
200 - 300 nm/min的高灰化率。
加热阶段加快了清洗速度，实现了宽广的工艺温度范围。
通过调整平台和石英扩散板之间的间隙，可以提高基板的均匀性。
紧凑，使用小的洁净室空间
简单，在大气压下操作--不需要真空系统。
柔软、干燥的工艺不会对基材造成电损伤。
内置臭氧催化剂装置，可将废气中的臭氧浓度降低到安全水平。
应用
塑料包装和引线框架的表面清洁
复合半导体(GaN、SiC、GaAs和InP)的表面清洗
表面改性（润湿性和附着力的改善
表面氧化(薄氧化层沉积)
光阻剂的灰化、剥离和除尘
清除有机污染物
紫外线固化
