1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年（公司成立年）

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额

WE2102系列 8英寸槽式清洗设备

1、该平台工艺区为 12 吋先进槽式清洗设备的拓展，具备优异的工艺效果

Expansion of 12 inch Advanced Wet Bench tool with excellent process performance

2、精准控制药液混合比例

Precise control of mixing ratio of chemical

3、多样的药液比例扩展应用

Multi-chemical ratio expansion applications

4、精准的蚀刻速率控制

Precise etch rate control

5、优秀的干燥效果

Excellent drying performance

6、软件量身定制，具备快速更新能力

Customized softwafer with highly efficient update abbility

技术参数

1、晶圆尺寸 8 英寸

2、适用材料 光阻、单晶硅、氧化硅、氮化硅、介质膜、金属膜、氮化钛、硅化物

3、适用工艺 预清洗、去胶清洗、氮化硅去除、金属去除（Co,Ti）、Recycle 清洗

4、适用领域 集成电路、化合物半导体、新兴应用