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UV-1 紫外线臭氧清洗机
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1、公司介绍
紫外线臭氧清洗机 UV-1紧凑型台式设备
UV-1是一款紧凑型台式紫外线臭氧清洗机。该系统将紫外线照射、臭氧和平台加热结合在一起,温和而有效地去除硅、玻璃、化合物半导体(GaN、GaAs、InP、SiC)、蓝宝石、陶瓷等各种基材上的有机物。
大加工尺寸为ø100 mm(4英寸)。
加热阶段加快了清洗速度,实现了宽广的工艺温度范围。
紧凑,使用小的台式空间