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S-9300 临界尺寸扫描电子显微镜
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详细信息
Hitachi S-9300 是一款 CD SEM（临界尺寸扫描电子显微镜）
用于测量半导体工艺中的精细图案尺寸.
以下是主要规格：
制造商： Hitachi
型号： S-9300
晶圆尺寸：200mm
电子光学系统：
电子枪：肖特基发射源
加速电压：500V至1600V，10V步进
探头电流：4~24pA，通过法拉第杯自动设置和测量
电磁透镜：带升压电压的 3 级电磁透镜系统
物镜：4 个开口咔嗒停止，加热孔径可在真空外选择/调节
扫描线圈：2级电磁偏转
散光校正：通过 8 极电磁线圈
放大倍率：1000 倍至 >300000 倍
现场控制方法：在所有电压下连续开启样品放电
晶圆成像能力：8英寸（或12英寸）晶圆的整个表面
景深：80000倍放大倍率下>= 1.0um
分辨率：3nm （800V） 缓速/升压模式
光学显微镜系统：
图像：单色，使用CCD相机
放大倍率：110倍
晶圆成像：X 覆盖范围为 5 – 295mm，Y 覆盖范围为 5 – 195mm，缺口向下
视场角：1.2mm
工作站型号： HP B180L （9GB）
操作系统：Unix 版本 HP-UX 10.20 或更高版本
软件版本：14.71 或更高版本
它还配备了激光干涉仪平台，可实现超高目标寻址精度、迷你环境和兼容 FOUP 的负载端口.可以支持高级自动化场景，例如通过自动物料搬运系统（AMHS）进行FOUP交付和单个晶圆识别.
