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CG 4000 临界尺寸扫描电子显微镜

型号
CG 4000
参数
产地类别:进口 价格区间:700万-1500万 应用领域:电子,综合
深圳市达瑞博电子有限公司

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手机综测仪、网络分析仪、频谱分析仪、信号发生器,示波仪,信号分析仪,程控电源,万用表,综合测试仪

深圳市达瑞博电子有限公司 经销批发的手机综测仪、网络分析仪、频谱分析仪、信号发生器、示波仪、信号分析仪、程控电源、万用表、综合测试仪消费者市场,在消费者当中享有较高的地位,公司与多家零售商和代理商建立了*稳定的合作关系。深圳市达瑞博电子有限公司经销的手机综测仪、网络分析仪、频谱分析仪、信号发生器、示波仪、信号分析仪、程控电源、万用表、综合测试仪品种齐全、价格合理。深圳市达瑞博电子有限公司实力雄厚,重信用、守合同、保证产品质量,以多品种经营特色和薄利多销的原则,赢得了广大客户的信任。

详细信息

Hitachi CG4000 临界尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)

Hitachi CG4000是一款临界尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM).它专为超精细半导体器件而设计.

以下是一些主要规格和功能:

  • 分辨率:1.8nm(加速电压:800V)

  • 重复性:±1% 或 0.3 nm (3 sigma)(采用日立标准晶圆)

  • 晶圆尺寸:300mm(200mm)

  • 产量:36 片晶圆/小时(晶圆上有 20 个测量点)

  • 加速电压:300 - 1,600 V (10V步进) (200 - 2,000 V:可选)

  • 它提供高分辨率、高精度的计量可重复性

  • 它包括高精度平均 CD (ACD) 计量功能

  • 它支持行业标准的线边缘粗糙度 (LER) 计量功能

  • 它具有改进的可操作性和自动维护功能

该器件被广泛用作半导体工艺中CD测量的主要工具.它能够实现亚纳米级的测量精度以及高分辨率、高精度的计量可重复性和高通量.它旨在应对半导体行业设计规则不断缩小时对过程控制的严格要求.它是一款功能强大的工具,可提供宽加速电压范围、高灵敏度数字成像、电荷保护校正、能量滤波器功能、精确运动控制以及自动样品交换和聚焦.


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产品参数

产地类别 进口
价格区间 700万-1500万
应用领域 电子,综合
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