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CG 4000 临界尺寸扫描电子显微镜
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Hitachi CG4000 临界尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)
Hitachi CG4000是一款临界尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM).它专为超精细半导体器件而设计.
以下是一些主要规格和功能:
分辨率:1.8nm(加速电压:800V)
重复性:±1% 或 0.3 nm (3 sigma)(采用日立标准晶圆)
晶圆尺寸:300mm(200mm)
产量:36 片晶圆/小时(晶圆上有 20 个测量点)
加速电压:300 - 1,600 V (10V步进) (200 - 2,000 V:可选)
它提供高分辨率、高精度的计量可重复性
它包括高精度平均 CD (ACD) 计量功能
它支持行业标准的线边缘粗糙度 (LER) 计量功能
它具有改进的可操作性和自动维护功能
该器件被广泛用作半导体工艺中CD测量的主要工具.它能够实现亚纳米级的测量精度以及高分辨率、高精度的计量可重复性和高通量.它旨在应对半导体行业设计规则不断缩小时对过程控制的严格要求.它是一款功能强大的工具,可提供宽加速电压范围、高灵敏度数字成像、电荷保护校正、能量滤波器功能、精确运动控制以及自动样品交换和聚焦.