起订量:
TDL-600/1200 双面晶圆研磨机
中级会员第3年
经销商
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1 产品概述:
双面晶圆研磨机是一款专为晶圆片设计的高效、高精度的双面研磨加工设备。它通过上、下两个研磨盘的相对旋转,配合精密的加压系统和研磨液,对晶圆片进行双面同时研磨,以达到预期的平整度和表面光洁度。该设备广泛应用于半导体、光电子、光电通讯等领域,是晶圆加工过程中的关键设备之一。
2 设备用途:
双面晶圆研磨机的主要用途包括:
晶圆片双面研磨:通过精密的研磨工艺,去除晶圆片表面的不平整和瑕疵,提高其表面质量和精度,为后续工艺如光刻、镀膜等提供高质量的基片。
材料去除与平整化:在晶圆加工过程中,常常需要去除表面的氧化物、杂质或调整晶圆的厚度,双面晶圆研磨机能够高效地完成这些任务。
提高生产效率:相比单面研磨机,双面晶圆研磨机能够同时研磨晶圆片的两个面,大大提高了生产效率,降低了生产成本。
3. 设备特点
双面晶圆研磨机具有以下特点:
1 高精度:采用先进的研磨技术和精密的控制系统,能够确保晶圆片在研磨过程中的精度和一致性,满足高精度加工的要求。
2 高效率:双面同时研磨的设计,使得研磨效率大幅提升,缩短了加工周期,提高了生产效率。
3 兼容性强:支持不同材质、不同尺寸、不同厚度的晶圆片研磨,通过更换研磨盘和研磨液,可以适应不同的加工需求。
4 气囊加压与精确控制:采用气囊加压方式,配合比例阀精确控制压力,确保了研磨过程中的稳定性和一致性。
4 设备参数
规格/参数 | TDL-600 | TDL-1200 |
加压方式 | 气囊 | 气囊 |
研磨压力 | Max400 kgf | Max1000 kgf |
上下抛光盘尺寸 | OD630 mm | OD1100 mm |
游星轮规格 | 9B*5 | 14B*6 |
上下抛光盘转速 | 0-85 RPM | 0-70 RPM |
内环转速 | 0-100 RPM | 0-115 RPM |
外环升降 | 无 | 有 |