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80 Plus 条形等离子清洁系统
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1.产品特点
80 Plus 条形等离子清洁系统为半导体加工而开发,可支持手动及自动操作,两种操作方式均简单易用。该系统可以配备或不配备装卸站;此外,每个装卸站都可支持不同的配置。即便没有装卸站,也可将其集成到生产线中。
2.产品配置
该软件直观,满足当半导体行业的标准,其主要应用域是表面的活化和清洁。80 Plus系统操作十分高效,加上其等离子技术,使用它进行等离子处理只需几即可完成。
通过使用该系统进行等离子处理,可以快速有效地清除晶圆表面的杂质和污染物。这有助于提高晶圆的质量和性能,并确保生产过程中的稳定性和一致性。
另外,80 Plus系统还具有智能控制功能,可根据实际需要进行参数调整。这使得用户可以根据不同的加工要求来优化处理过程,并获得佳的加工效果。
除了晶圆表面清洁功能外,80 Plus系统还可以用于其他应用域。例如,在光伏行业中,它可以用于太阳能电池片的制造过程中,提高电池片的效率和稳定性。
PVA TePla 提供研发和合同代加工的广泛应用服务。 许多客户利用这些服务进行临床试验和中小型生产。
80 Plus 等离子系统提供两种电配置
离子配置:射频为 13.56 MHz 的电磁辐射通过电被送入腔室,以便通过加速离子实现表面轰击。除了这种物理效应,还有一种化学效应,但它比使用微波频率时获得的效果要小。
千兆配置:如果等离子设备配备微波发生器,则使用 2.45 GHz 的频率。腔室中没有电;微波在真空室外部产生,然后通过天线或波导输入。具有这种配置的等离子体以纯化学方式工作。