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NEXUS IBD-LDD 离子束沉积设备
- 型号
- NEXUS IBD-LDD
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
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公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1.产品概述：
NEXUSIBD-LDD是由VEECCO研发的离子束沉积设备，VEECCO凭借25年来在离子束产品域建立导地位，实现当下无缺陷的EUV掩模空白。
2.产品工艺：
光掩模制造需要高水平的颗粒控制，同时沉积复杂的多层薄膜结构。Veeco的NexusIBD-LDD离子束沉积系统可以应对这一挑战。自1990年代以来，Veeco已成功服务于光掩模市场，多年的学习造就了当先进的系统。IBD-LDD系统是当EUV掩模坯料上的钼（Mo）和硅（Si）多层沉积和钌（Ru）封端层沉积的理想选择，以及其他需要低缺陷水平和先进薄膜的掩模应用。
3.产品优势：
经过生产验证的平台
低的缺陷密度
优异的均匀性和可重复性
高反射率
在同一腔室中沉积多种材料
可以集成到其他过程模块中，集成到集群工具中
