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NANO 36™ 热蒸发薄膜沉积系统
- 型号
- NANO 36™
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
NANO 36™
经济实惠的紧凑型溅射或热蒸发薄膜沉积系统
Kurt J. Lesker Company® NANO 36™ 是我们优化的入门级沉积系统。我们的腔室设计特别适合手套箱集成。NANO 36 具有更高的功能和更小的占地面积，提供了实惠的价格点，同时保持了您期望从 KJLC 获得的质量。
NANO 36 与以下沉积技术兼容：
热蒸发（最多四个 2 英寸船组件）。
Torus® 磁控溅射源（最多三个 2“ 或 3” 源）。
1cc 或 10cc LTE 有机沉积源（最多四个）。
两个热源和两个 LTE 源的组合。
可根据要求提供定制配置。
KJLC的软件允许用户友好的配方创建，以及一个可靠、不间断的处理模块，无论计算机用户界面的状态如何，都可以完成过程。有关此直观、且可靠的软件包的更多信息，请参阅“软件”选项卡。
