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SPECTROS™ 150 有机薄膜沉积和金属化系统
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
Kurt J. Lesker Company 的 SPECTROS™ 150 是基于主力 SPECTROS 平台的下一代薄膜沉积系统。SPECTROS平台在全球拥有100多台设备,是一种成熟、坚固和多功能的设计。SPECTROS建立在原始设计的成功基础上,改进了系统基础压力和抽空时间。腔室设计、具有高级编程功能的行业最佳软件控制系统、实时配方线程操作以及用于优化薄膜性能的众多功能,这些都是这种创新的设计提供的一些关键优势。®
SPECTROS 150与以下技术兼容:
1cc 或 10cc LTE 信号源(除热源外,最多 10 个信号源)
4 英寸热源(除 LTE 源外,最多 4 个源)
TORUS 磁控溅射源(最多 8 个 2“ 或 3” 源)®
电子束蒸发源(4口袋8cc,8口袋12cc,6口袋20cc)
上述技术的组合也可用
可根据要求提供定制配置
SPECTROS™ 150 的工艺室提供两种类型的高真空泵:标配 Pfeiffer 790 L/s 涡轮分子泵或可选的 Brooks CTI-8F 1500 L/s 低温泵。SPECTROS 150的任何沉积配置都可以选择这两种泵。Pfeiffer 790 L/s 是总体成本效益、高质量泵送的理想选择,尤其适用于低温和热蒸发。Brook CTI-8F 可用于需要尽可能低真空度的应用,特别是热蒸发和电子束应用。
右边的图表显示了配备的 SPECTROS 150 工艺室按泵类型划分的平均预期泵送性能,该工艺室清洁干燥,安装了 (5) TORUS 3“ Mag-keeper 源和 3 英尺长的 1.5 英寸金属柔性波纹管粗加工线。