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狭缝式涂布机

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参数
产地类别:进口
南京博创半导体设备有限公司

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南京博创半导体设备有限公司成立于2019年主体经营:1.半导体制造相关设备:键合/解键合设备/晶圆清洗设备/涂胶设备/剥离设备2.半导体用高清洁传送设备:EFEM/Robot/Aligner/Porter3.纳米印压设备:8寸/12寸全自动量产设备和R&D研发设备4.FDP/PLP设备:SlitCoater+VCD+OVEN+UV解键合设备5.UV系列产品:UV Laser/Excimer UV灯/UVLED灯/牛尾-滨松-ORC照度计 所在地 :江苏省南京市栖霞区(新港开发区)恒泰路6号

 

详细信息

狭缝式涂布机型号SFT-GT400H-2DT-2V,用于钙钛矿材料涂布,玻璃尺寸为300×400mm(传送宽度300mm),产品厚度:0.5-2mm,涂布材料为钙钛矿:粘度10-200cp,固含量:10-20%,双刀头及双供液系统设计,根据生产需求,可选择材料进行涂布;干膜厚度:0.5μm,湿膜厚度:5-10μm

涂布厚度要求:

  1. 钙钛矿:干膜厚度0.4-2μm,湿膜:5-10μm;

  2. 两腔室,使用干泵,真空度≤10Pa,腔室带加热功能,常用60℃;

  3. 抽速可在程序内设定分段控制(至少包含两步以上:慢抽、快抽、充气);

  4. VCD内支撑pin只能接触玻璃无效区;

  5. 需带废气冷凝装置及冷凝废液桶满液位报警。

涂布区域要求:无胶区:离玻璃四周边缘2mm范围内,膜厚均匀性保证区域:中心区域286mm×386mm。

狭缝式涂布机均匀性要求:保证区域均匀性要求:5%以内;两种材质,涂布2层。

平台真空要求:平台真空需分布至玻璃边缘,防止玻璃变形造成的翘起。

静电处理 ≤1000V(配套基恩士静电装置)。

破片率 ≤0.15%(来料不良除外)。

净化级别 100 级(机械手搬运区域,配套直流式电机 FFU)。

设备外形尺寸 5800×2800×1800mm(不含三色灯)。

电压 三相 AC380V 50/60HZ 20KW。

气压: 0.5-0.7Mpa

真空 ≤-75Kpa(客户提供真空源)

冷却水 :无

排气量 :设备配套强排风机,排风口 ø100mm,排风量 100m³/min,28 机器重量 约2200Kg

设备外观 :外罩板金件采用 304 镜面不锈钢材料,设备底部有螺纹地脚及地脚滑轮

人机界面操控方式:

A、在触摸屏/显示屏上显示各 I/O 点的状态,方便故障问题查找。B、在触摸屏/显示屏上显示自动复位及自动运行条件满足的状态,当设备无法复位或无法自动运行时,方便确认是那部分条件没有满足

安全防护:

软件动作互锁及配套安全对射光栅、安全门开关。视窗部分采用透明防静电 PVC

板、阻值 105-9,机架接地电阻<4Ω

连线通讯方式: 设备前后端配有 24pin 标准 Interface 接口,可与上/下游设备联机

系统通讯方式:

由PLC或工控机控制的设备

1、通讯接口:预留以太网接口。通讯协议:TCP/IP或者Modbus TCP通讯协议,2、设备厂家同时还要提供监控系统的数据点表(PLC或工控机的数据区可以提供监控系统需要的数据点表供上位系统进行读取)。

3、若为上下位系统双向交互信息,设备供应商需要下位软件开发工作,实现双向控制逻辑。

4、最终设备设计前需与客户相关人员确认“生产管理系统”通讯需求。

其他:

1、待机状态:黄灯常亮;2、运行状态:绿灯常亮;3、流程结束:绿灯闪烁

机器运行安全保护:

1、设备设有急停开关,当发现设备异常或紧急事件时,按下急停开关,待故障检修排除后,机器进行原点复位后方可继续运行;

2、设备设有安全门禁开关,机器生产运作中打开安全门,机器将停机报警,安全门没有关闭,设备无法启动运行,关闭所有门后,按下启动按钮,机器方可继续运行。

3、设备本体必须设有良好的接地端子和漏电安全防护装置;

4、设备操作面有安全保护对射光栅,在设备运行过程,检测及防止人员接触到机器内部运动部件,起到报警及停机功能;

5、本公司制作的设备,具有设计合理性及使用安全性,采用的电气元器件、线路等相关材料,符合国家安全准则及标准,符合国家标准阻燃规定,人员操作方面采用安全防护设计,能够及时有效保证人员操作安全,设备本体并粘贴有相关安全标志。

6、机器完成安装调试后,设备厂家调试人员必须对使用操作员工进行安全操作培训及签名。

主要元器件(厂家提供):

狭缝式涂布机

狭缝式涂布机

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