产品

eVictor系列 8英寸通用物理气相沉积系统

JGP450 高真空磁控溅射薄膜沉积系统

JGP560 高真空磁控溅射薄膜沉积系统

FJL560 高真空磁控溅射与离子束复合薄膜沉积系统

PLD300 高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统

PLD450 高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统

NEXUS 物理气相沉积PVD

DZS500 高真空电子束及热阻蒸发薄膜沉积系统

KVT 电子束蒸发镀膜系统

PRO Line PVD 75 多功能溅射、电子束和热蒸发沉积平台

NANO 36™ 热蒸发薄膜沉积系统

EPEE系列 等离子化学气相沉积系统

物理气相沉积（PVD）