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薄膜厚度绘图仪SRM是采用光谱反射仪技术的薄膜厚度分布测试仪器,可对样品面积上的薄膜厚度绘图获得整面的薄膜厚度分布和薄膜厚度均匀性参数。
这款薄膜厚度绘图仪具有较长工作距离，工作距离可调，超大样品台，可选光源等特点。
薄膜厚度绘图仪特点
使用基于Windows的软件易于设置和操作
直径达300mm的各种几何形状衬底
各种类型的映射模式，如线性、极坐标、方形或任意坐标
**的光学和坚固的设计，实现***佳的系统性能
基于阵列的探测器系统，确保快速测量
地图胶片厚度和折射率高达5层
系统配有全面的光学常数数据库和库
包括常用食谱
**的TFProbe软件允许用户为每张胶片使用NK表、色散或有效介质近似（EMA）。
可升级到具有模式识别的MSP（显微分光光度计）标测系统，或用于在图案化或特征结构上进行标测的大光斑
适用于多种不同厚度的基材
2D和3D输出图形和用户友*的数据管理界面，带有统计结果
以csv文件格式输出映射结果
系统附带长寿命灯具
所有USB通信和PC控制
薄膜厚度绘图仪应用
半导体制造
液晶显示屏测量
刑侦
生物膜测量
矿石地质分析
制药医学分析
光学镀膜测量
功能薄膜MEMS测量
太阳能电池薄膜测量
薄膜厚度绘图仪软件操作界面
薄膜厚度绘图仪软件结果
薄膜厚度绘图仪软件三维展示
薄膜厚度绘图仪参数
型号 | SRM100 | SRM300 | SRM500 |
探测器类型 | CCD or CMOS Array | CCD or CMOS Array | CCD or CMOS and InGaAs Array |
波长范围 | 190-1100nm | 370-1100nm | 190-1700nm |
波长精度 | 0.01-3nm | 0.01-3nm | 0.01-3nm |
可测薄膜厚度范围 | 5nm-50 µm | 20nm-1000 µm | 5nm -1000 µm |
厚度精度 | < 1Å (1 sigma from 50 thickness readings for 1500Å Thermal SiO2 on Si Wafer) | ||
样品台 | 黑色阳极氧化真空吸盘，典型的Rho Theta，尺寸紧凑，200mm、300mm或根据要求定制尺寸 | ||
工作距离 | ~ 20mm (从晶圆表面计算) | ||
测量时间 | 0.1ms-10s, 用户可定义 | ||
用户设置功能 | 波长范围、波长点、积分时间、光谱平均数、平滑因子 | ||
通讯接口 | USB | ||
操作系统 | Both 32bit and 64 Bit, Win XP, 7, 8, 10 | ||
计算机***低配置 | Intel i3 or above with minimum 500 MB space, 4GB RAM | ||
供电要求 | 110– 240 VAC /50-60Hz, 1.5 A | ||
光源 | Deuterium + Tungsten Halogen | Tungsten Halogen | Deuterium + Tungsten Halogen |
光源强度 | Adjustable | Adjustable | Adjustable |
灯泡寿命 | 4000 hrs. | 10000 hrs. | 4000 hrs. |
