3D多光子聚合光刻机是采用飞秒激光多光子聚合MPP技术设计的3D多光子聚合打印机,为用户提供高分辨率3D光刻胶打印方案。
3D多光子聚合光刻机优势
直写分辨率：200nm ~10um
尺寸结构小，适合实验室桌面光刻打印
对光刻胶不挑剔，适合所有商用光刻胶
透明3D结构打印
操作界面友好，易于使用
工作和维护成本低

3D多光子聚合光刻机参数
激光光源参数
激光波长：785nm+/-5nm
平均功率：>120mW
激光脉宽：<100fs
光束质量：TEM00，M2<1.2
纳米位移定位台参数
XYZ行程：60x60x5mm
XYZ精度：+/-300nm
XY分辨率：5nm
XY速度：100mm/s（大）
聚焦光学部分参数
放大倍数：50X~100X
数值孔径：0.5~1.4
物镜：高性能浸油物镜
软件部分参数
自动或手动对纳米位移定位台控制
控制激光发射
控制激光功率
控制激光脉冲重复频率
激光功率衰减控制
数字或模拟I/O控制
文件格式：DXF，STL,TXT,XML
2D/3D光刻预览窗口方便用户阅览
样品定位检测
样品倾斜或旋转补偿技术

3D多光子聚合光刻机光刻结果展示