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这款飞秒激光直写光刻系统,laser lithography system是专业为微纳结构光蚀刻而设计的激光直写光刻机。飞秒激光直写光刻系统基于多光子聚合技术(multi photon polymerization, mPP),适合市场上的各种光刻胶(photoresists),能够以纳米精度和分辨率微纳加工各种三维结构,是的激光光刻机.
激光光刻机3D模型制备
直写光刻机直接激光刻划
激光光刻机整套系统到货即可使用
激光光刻机提供100nm-10um的分辨率
直写光刻机超小尺寸
飞秒激光直写光刻系统,laser lithography system制备
这套飞秒激光直写光刻系统,laser lithography system由激光微加工系统软件控制,简单的3D模型通过这种软件即可生成,对于比较复杂的3D模型,用户可以通过Autodesk, AutoCAD等软件制作,然后导入到三维光刻机的软件中,这个软件支持.stl, dxf等格式的文件用于3D结构的制造。
飞秒激光直写光刻系统,laser lithography system激光直接读写
这套激光光刻机由飞秒激光光源,精密的3轴定位台和扫描镜组成。首先,待刻录的图形通过激光光刻机精密的激光聚焦系统直接从CAD设计中导入到光刻胶上。聚合物的双光子或多光子吸收用于形成
• Nanophotonic devices (3D photonic crystals)激光光刻机用于纳米光子器件(三维光子晶体)
• Microfluidics 三维光刻机用于微流控芯片
• Microoptics (lenses, structures on an optical fiber tip, etc.)三维光刻机用于微光学(光学端面微结构制作)
• Micromechanics 激光光刻机制作机微机械
• Micro-Opto-Electromechanical Systems (MOEMS) 激光蚀刻机制作微型光机电系统
• Biomedicine 激光光刻机,三维光刻机用于生物医学