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BAG552热电离真空计专为压力范围为 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的气体真空测量而设计。支持双灯丝,具有出色的精度、可重复性和使用寿命。BAG552 还可与 INFICON 真空计控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。
优势
1,纯粹的 Bayard-Alpert 测量系统,适用于超高压和高压测量范围
2,双灯丝设计
3,电隔离电子设备,避免杂散电流
4,滑动发射模式,避免在切换发射流时出现压力跳跃和冻结现象
5,可移动校准数据芯片,延长了烘烤时间
6,设定点继电器
7,明亮大屏幕 OLED 显示屏(可 90° 旋转),带用户界面
8,模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
9,可与 VGC50x 控制器系列配合使用
10,符合 RoHS 规范
典型应用
半导体工艺中的压力测量
工业镀膜
高真空至超高真空范围内系统的一般真空测量和控制
测量范围 :(气, O2, CO, N2) 5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar
准确度 :1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar ±15% 读数
可重复性: 5% 读数, 10-8 … 2 × 10-2 mbar (稳定 10 分钟后)
暴露在真空中的材料 不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨
BAG552热电离真空计