优势
1，3 + 1 个传感元件，测量范围极广，降低成本，节省空间
2，双灯丝设计
3，独立于气体类型的压力测量（10 托以上）为任何混合气体提供更可靠的负载锁定控制
4，压差测量消除了与大气压力变化有关的不确定性
5，自动高真空皮拉尼调节减少了操作员的干预
6，电隔离电子元件可避免杂散电流
7，滑动排放模式，避免在切换排放流时出现压力跳跃和冻结现象
8，设定点继电器
9，明亮大屏幕 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面
10，模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
11，可与 VGC50x 控制器系列配合使用
12，向后兼容 TripleGauge® BCG450

13，符合 RoHS 规范

典型应用
半导体制程、传输和负载锁定室中的压力测量
工业镀膜

低真空至超高真空范围内系统的一般真空测量和控制

测量范围 (气, O2, CO, N2) 5 × 10-10 … 1500 mbar    
准确度  950 ... 1050 mbar ±2.5% 读数  
           50 ... 950 mbar ±5% 读数  
           1 × 10-8 … 50 mbar ±15% 读数    
           可重复性 5% 读数, 1 × 10-8 … 1050 mbar (稳定 10 分钟后）  
暴露在真空中的材料 不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨

BCG552 ATM至超高真空真空计