INFICON/美国 品牌
代理商厂商性质
杭州市所在地
BPG552 ATM至超高真空双真空计
对于测量范围要求从 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的应用,Trigon™ 系列包括双技术 BPG552 真空计。BPG552 由一个 Bayard-Alpert 热电离传感器元件和一个经典、坚固、可靠的皮拉尼传感器元件组成。支持的 Bayard-Alpert 双丝提供了超卓的精度、可重复性和使用寿命。
优势
1,双测量仪(2 个传感元件),测量范围宽,降低成本,节省空间
2,用于 Bayard-Alpert 系统的 2 根灯丝
3,皮拉尼互锁保护,避免灯丝过早烧毁
4,自动高真空皮拉尼调节,减少操作员干预
5,电隔离电子元件,避免杂散电流
6,滑动排放模式,避免切换排放流时出现压力跳跃和冻结现象
7,可移动的校准数据芯片延长了烘烤时间
8,设定点继电器
9,明亮大屏幕 OLED 显示屏(可 90° 旋转),带用户界面
10,模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
11,可与 VGC50x 控制器系列配合使用
12,向后兼容 BPG402
13,符合 RoHS 规范
典型应用
半导体工艺中的压力测量
工业镀膜
低真空到超高真空范围内系统的一般真空测量和控制 超高真空范围
测量范围(空气、O2、CO、N2) 5 × 10-10 … 1000 mbar
准确性 1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar 读数的 ±15
1 x 10-2 mbar … 1000 mbar 读数的 ±30
重复性 读数的 5%,10-8 ... 10-2 毫巴(稳定 10 分钟后)
暴露在真空中的材料 不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨
BPG552 ATM至超高真空双真空计