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等离子体清洗机对某些有特殊用途的材料,在超清洗过程中等离子体清洗机的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。
设备型号:PE-25
1、腔体尺寸:圆柱形腔体,内径5英寸(127mm)x深度8英寸(200mm);
2、腔体材质:T-6铝合金一体成型;
3、腔体容积:2.57升;
4、射频电源:13.56MHz;0~100W自动调节;
5、工作压力范围:1-2000 mT;
6、气体流量控制:0-25cc/min带精密针阀;
7、皮拉尼真空计: 0-1Torr;
选配:
1、150W,50KHz;
2、400W,50KHz;
3、150W,13.56 MHz;(自动匹配网络);
4、300W,13.56 MHz;(自动匹配网络);
5、Venus PC控制功能,可以通过MFC控制气体;