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射频真空等离子表面处理系统
等离子清洗机是一款专门针对科研院所研制的小批量样品表面处理设备，利用真空环境产生等离子体去处理样品的表面，达到常规清洗方法无法达到的效果。具有设备小巧，真空腔容量大，适用于实验室环境；清洗过程不会产生高温，避免产品产生热变形；可以处理各种各样的材质，如金属、半导体、氧化物或高分子材料，应用广泛。
射频真空等离子表面处理系统 特点：
u 满足8寸以下基片使用，适用性广
u 无环境污染、无化学品消耗、机台本身不产生污染物
u 高效清洗，快递达成需要的表面亲水性
应用广泛，且对处理产品无损伤，不改变材料特性
