技术数据

2.6 升的 Low Cost 等离子体实验室设备 ZEPTO 配有手动型 和 Basic PC 控制系统，主要用于以下领域:

小批量生产, 分析 (REM, TEM), 医疗技术, 灭菌, 研究和开发部门, 考古, 纺织技术, 塑料技术

1.基本装备：

   根据组件/选装件，外壳规格会有所不同

   腔室容积：根据具体版本 1.7 - 2.6 升

供电电源：230 V

2.气体供给：针型阀、质量流量控制器 (MFC)

3.真空腔室

   带盖圆形硼硅玻璃 (UHP)（大约 ∅ 105 mm，长 200 mm 或长 300 mm）

W6（约 ∅ 160 mm，长 180mm）

4.装载件

产品支架：铝板、不锈钢板、硼硅玻璃

5.电极：

单层或多层

真空腔室外部的一对电极

6.控制系统：手动、Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE)

7.压力测量：Pirani

8.计时器：数字 、模拟

9.发生器：

频率：

40 kHz：功率 0 - 100 W

13.56 MHz：功率 0 - 200 W