技术数据

10.5 升的  Low Cost 等离子体实验室设备型号为ATTO的德国Diener等离子清洗机配有手动型 和 Basic PC 控制系统，主要用于以下领域：

小批量生产、分析 (REM, TEM)、医疗技术、灭菌、研究和开发部门、考古、纺织技术、塑料技术

1.外壳

宽 425 mm、高 275 mm、深 450 mm

宽 525 mm、高 257 mm、深 450 mm

2.真空腔室：玻璃（硼硅玻璃）材质，直径211 mm，长 300 mm

3.装载件

产品支架：铝板、不锈钢板、硼硅玻璃

4.腔室容积：约 10.5 升

5.气体供给：2个由针型阀控制的气体通道，MFC

6.发生器

40 kHz/200 W

13.56 MHz/300W

7.真空泵：抽吸性能：最小 3 m3/h

8.部件支架：1个产品支架

9.控制系统：手动，Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE)