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离子溅射镀膜仪（通用仪器）简介：
什么是离子溅射镀膜？
在阳极与阴极之间使用合适的气体（常用的是氩气）和电压，当出现辉光放电时，阴极材料在气体离子的轰击下将侵蚀目标材料，这个过程就叫离子溅射。其结果是溅射出来的原子（阴极材料）将在样本（通常样本固定于阳极上）表面形成一层薄膜，均匀分布在样本的表面。
阴极材料通常使用金，习惯称之为金靶。
EMS550离子溅射镀膜仪（通用仪器）
EMS 550具有旋转样品台，可倾斜，适合各种样品。参数可预设，全自动控制保证获得准确的镀层厚度。 低电压溅射、冷溅射、超细颗粒等功能的使用，大大提高了工作效率。腔室直径为165 mm（6英寸），非常方便装载及移走样品。 仪器装有60mm直径、0.1mm厚的金靶（可选）。可选靶材包括金/钯，铂/钯和铂。 各种功能都集中设计在仪表板上，使用方便，满足不同学科的用户使用要求。 溅射参数可预设，包括气体放气针阀（此阀为电磁阀），一旦设置，就不需要再调节。溅射头互锁，系统可选配EMS250镀碳附件。
本仪器为全自动操作，可控制独立的真空泵。
性能特征 2、旋转且可倾斜样品台 3、全自动控制 4、低耗冷却系统，无需冷却样本及样品台 5、低压溅射 6、高质量镀层厚度（2nm 金膜）. 7、可重复性能 8、均匀沉积厚度（20nm或20埃） 9、微电子控制 10、聚碳酸脂安全壳体 | ||||||||||||
性能参数： 定购说明：
注：EMS500为EMS550的的手动型号（无旋转样品台），其它参数均同。 |
