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EMS 650/EMS 650T大样品离子溅射镀膜仪（样本制备）
又称三靶大样品室离子溅射镀膜仪（样本制备），EMS 650大样品离子溅射镀膜仪（样本制备）配套装有直径60mm、厚度0.1mm的金靶（用户可以选择其它材质的靶材）；面板式控制，*的人性化设计；溅射参数可预先设置，包括控制排气的电磁阀（自动控制），可以获得精确的可重复的镀膜厚度；溅射头互锁，EMS 650和EMS 250镀碳配件通用；EMS 650可控制独立的真空泵。下图示EMS 650。EMS 650T是在EMS 650基础上加装了一个功率为60L/秒的涡轮增压泵，能够获得更高更洁净的真空。
性能特征：
仪器参数：
仪器尺寸 | 450mm(W) x 350mm(D) x 175mm(H) |
工作腔室 | 硼硅酸盐玻璃: 225mm(Dia.) x 125mm(H) |
重量 | 24Kg |
靶台 | 3 x 60mm Dia.x0.1mm 厚 |
旋转样品台 | 155mm Dia. 距离靶台40 to 50mm可调 |
真空范围 | ATM 1x10-2 mbar |
镀膜电流范围 | 0-100mA |
镀膜速率 | 0-20nm/minute |
溅射镀膜时间 | 0-4 minutes |
电源 | 230 volts 50Hz (zui大8 amp 包括泵) |
维护 | 氩气 通常 4 psi |
真空泵（推荐） | 整套真空泵软管和油气过滤器135L/Min |
订购信息:
货号 | 产品名称 | 规格 |
91020 | EMS 650 Sputter Coater complete with Targets | 台 |
91020T | EMS 650T Sputter Coater | 台 |
91025 | Rotary Vacuum Pump | 个 |
