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EMS 975高真空蒸镀镀膜仪（样本制备）（Large Chamber Turbo Evaporator）
高真空蒸镀镀膜仪（样本制备）碳棒头的模式化设计，极大地增加了用途，使用起来更方便灵活，新方法可准备新的样品。多用途设计，它可用于TEM和X-Ray分析中的覆膜，以及SEM中的导电涂层。
EMS975，可以进行碳、金属的蒸镀和溅射镀膜的选择。可以制备碳支持膜、TEM的覆膜、碳/金属蒸镀等等。
涡轮分子泵在EMS975中作为标准配置，此泵作为机械真空泵的后级泵，真空为全自动控制,可以达到蒸镀需要的较高真空度。
特点:
优点：
仪器参数：
仪器尺寸 | 450mm W x 350mm D x 175mm H |
重量 | 28Kg |
工作腔室 | 硼硅酸盐玻璃165mm Dia x 125mm H |
安全钟罩 | 聚碳酸酯 |
碳 源 | 直径3.2mm碳棒 |
旋转样品台 | 直径为60 mm，倾斜0-45o |
真空计范围 | ATM - 1x10-5 mbar |
操作真空 | 1x10-2 to 1x10-5 mbar |
安培计 | 0-50 Amps |
低电压选择 | 0-5V-15V-25V，除气电流，0-25 Amps |
涡轮分子泵 | 100L/Second，需要一个50L/m旋转机械泵 |
电源 | 230V 50Hz (包括泵zui大电流8 安培) |
另：EMS 975S半导体晶圆高真空蒸发镀膜仪，主体就是EMS 975，特别之处在于可蒸镀8英寸晶圆），或者是达到140mm x 140mm样本大小的样本。
订购信息：
货号 | 产品名称 |
91090 | EMS 975 Large Chamber Turbo Evaporator complete with carbon source |
91090-S | EMS 975S Turbo Evaporator for Semi Conductor Wafer Coating |
91005 | Rotary Vacuum Pump needed to backup the turbo pump |
耗材和替换件订购：
货号 | 产品名称 |
91077 | Carbon Rods (6.15mm Dia.), 12/pack |
91033 | Glass Cylinder |
91034 | "L" Gaskets |
91004-S | EMS 105 Aperture Cleaning Head |
92060 | EMS 190 Low Angle Shadowing |
