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KLA薄膜电阻测量技术方阻测试仪包括接触（4PP）和非接触（EC）方法。
Filmetrics的R50系列方块电阻测量仪器可测量沉积在各种基材上的导电片和薄膜，跨越10个数量级范围电阻率，包括：
半导体晶圆基板
玻璃基板
塑料（柔性）基材
PCB图案特征
太阳能电池
平板显示层和图案化特征
金属箔
二、方阻测试仪主要功能
l 技术规格
测量范围：5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;
测量精度： +/- 1%；
重复度： 小于 0.2%；
样品图中无*的测量点位，自定义测量Recipe，可线性、矩形、
极坐标以及自定义等。
Model | Description |
R50-4PP | 四探针测试 自动XY移动台-100mm*100mm 可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping测量 可放置直径200mm晶圆样品 |
R50-EC | 非接触涡流测试 自动XY移动台-100mm*100mm 可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping非接触测量 可放置直径200mm晶圆样品 |
R50-200-4PP | 四探针测试 自动XY移动台-200mm*200mm 可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping测量 |
R50-200-EC | 非接触涡流测试 自动XY移动台-200mm*200mm 可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping非接触测量 |
三、应用
支持广泛的测量，包括但不限于以下各项：
金属膜厚度、基板厚度、方块电阻、电阻率、电导率、掺杂浓度等。
