内应力检测仪

内应力检测仪

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2024-09-04 15:37:25
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上海纳腾仪器有限公司

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产品简介

Strain Viewer 内应力检测仪
具备化合物晶圆内应力分布测量及缺陷筛查等检测功能

详细介绍

Strain Viewer 内应力检测仪

优势

√ 基于双折射应力测量模型实现应力瞬时测量,显示应力二维分布伪彩图

√ 采用双远心检测光路,相位延迟测量精度高

√ 根据不同测量视场要求,多种镜头可选

√ 订制化样品托盘,适应不同规格晶圆批量测试

适用对象

适用于三代化合物晶圆片、玻璃晶圆片、精密光学元件(平晶,棱镜,波片,透镜等)的内应力检测

适用领域

面向化合物晶圆生产、光学精密加工等行业

检测原理

√ 基于偏振光应力双折射效应检测晶圆材料内部应力分布。当晶体材料由于内部缺陷存在应力集中时会导致应力双折射效应,偏振光透过它时会发生偏振态调制,通过测量透射光的斯托克斯矢量可以推算��材料的应力延迟量,从而得到材料内应力分布;

√ 可同步集成晶圆表面缺陷暗场检测和尺寸量测。




实测案例

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Strain Viewer技术规格

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