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自由曲面三维面型检测仪
优势
√ 对各种自由曲面光学元件的表面进行非接触全口径测量
√ 简单、精确、快速、可重复的测量方式,表面无需喷粉处理
√ 自动完成数据比对分析误差,完善的三维分析功能
测量功能
√ 三维面型数据测量
√ 面型逆向分析
√ 面型轮廓精度评价
适用对象
自由曲面反射镜、曲面盖板玻璃、精密模具、玻璃面板、透镜、微透镜阵列、 晶圆片等
测量原理
√ 结构光反射三维重构原理: 多相机拍摄经被测镜面反射的变形的结构光图案,通过重构算法计算被测镜面的三维面型,通过与理想面型数据进行比对,获得自由曲面的面型误差分布和其它分析数据
√ 采用优化系统结构设计、高精度标定方法和先进的重构算法实现高测量精度
从600mm口径的大反射镜,到1mm口径的微透镜阵列,自由曲面测量系统提供全面的面型测量能力。
测量分析软件
具有丰富分析功能同时易用性强的三维测量分析软件,包括: 三维轮廓误差 PV、RMS、表面瑕疵、曲率、斜率、尺寸分析、各种多项式拟合、空间滤波和各类数据导出
自由曲面三维面型检测仪