OTF-1200X-PESDSF-50-双炉体滑动PECVD系统-循环手套箱_PECVD系统-上海添时科学仪器有限公司手机版

产品简介

OTF-1200X-PESDFG-50是一款双炉体滑动的PECVD系统，连接循环手套箱。此款设备中石英炉管与循环手套箱连接，可利用CVD方法，将样品处理后直接移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式，可在实验室中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。

详细介绍

    手套箱特点：

    •真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管连接；

    •两个炉体在一个滑轨上，可通过炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果!

    加热炉参数：

    •连续工作温度：1100℃

    •两个炉体都可设置30段升降温程序

    •高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）

    •电源：AC220，50Hz   最大功率：3KW

    手套箱参数:

    •带有除水系统：保持水含量<2ppm

    •真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管连接

    射频电源：

    真空系统：

    •·采用TRP-12的双旋真空泵；

    •KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；

    •真空度可达10-2Torr。

    供气系统（可选）：

    •客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）;

    •流量范围：

    •电压：208-240V，AC，50/60Hz；

    •气体进出口配件：6mmOD的聚四氟管或不锈钢管;

    •不锈钢针阀用于手动控制气体进出；

    •PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。

    产品尺寸：

    炉体尺寸：1600mm(L)-430mm(W)-500mm(H)

    手套箱尺寸：780mm(L)-700mm(W)-650mm(H)

    质保：

    一年保质期，终身维护，不包括炉管，硅胶密封圈和加热元件

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