PECVD等离子体增强气相沉积特点-上海添时科学仪器有限公司

产品简介

OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃PECVD等离子体增强气相沉积由射频电源、双温区管式炉、4通道质子流量计控制系统、性能优异的真空泵及水冷机组成。此套完整的设备系统特别适合用于无机复合粉末的热处理以及粉未表面的改性处理工艺中（如：粉体掺杂（空穴、间隙原子）、表面改性、表面包覆及制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等）。

详细介绍

    1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统产品特点：

    1、射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；

    2、齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性;

    3、4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控;

    4、炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。

    1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统参数：

    工作电源：

    •输入电压：AC208-220V，50/60Hz

    •总功率：<4KW

    加热炉参数：

    •最高温度：1100℃(<30min)；连续工作温度：1000℃;

    •两个PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃;

    •工作电压：110V；

    •额定功率：1.5KW；

    •回转炉旋转速度：0-5rpm。

    射频电源：

    真空系统：

    •·采用TRP-12的双旋真空泵；

    •KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；

    •真空度可达10-2Torr。

    供气系统(可选)：

    •客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制(精确度：±0.02%);

    •流量范围：

    •电压：208-240V，AC，50/60Hz；

    •气体进出口配件：6mmOD的聚四氟管或不锈钢管;

    •不锈钢针阀用于手动控制气体进出

    •PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置

    循环水冷机：

    标配KJ-5000循环水冷机，水流速率：16L/min

    产品尺寸和重量：

    尺寸：1400mmL-600mmW-1240mmH

    净重：90Kg

    承诺：

    一年保质期，终身维护，不包括炉管，硅胶密封圈和加热元件

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